可在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力 高精度直线电机驱动，适用于重载Z轴方向，带刹车。适用于Z轴的直线运动。可组在XYZ三轴
参数 | 项目
S-NF240-Z100
S-NF240-Z200
电机类型
双直线电机驱动
光栅分辨率
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）
电机推力
持续60N/峰值210N
持续120N/峰值420N
最小步长
50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
行程
100mm
200mm
重复定位精度
±150nm
定位精度
±300nm（干涉仪校准）
平面度
≤±2.5um
≤±3.5um
直线度
1.5um
2um
最大速度
300mm/s
最大负载
25kg(采用气动恒力弹簧平衡)