可在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力 高精度直线电机驱动使用交叉滚子导轨，适用于重载Z轴方向，带气柱或恒力弹簧有效配重Z方向的负载。适用于Z轴的直线运动。可组在XYZ三轴
参数 | 项目
S-LMT145-Z50
-Z100
电机类型
三相无铁芯电机
光栅分辨率
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）
电机推力
额定40N 峰值90N
最小步长[nm]
10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
行程 [mm]
50
100
重复定位精度 [um]
±100nm
定位精度 [um]
±300nm
平面度 [um]
2
2.5
直线度 [um]
1
1.5
最大速度 [mm/s]
200mm/s
最大负载 [kg]
6kg(采用气动恒力弹簧平衡)