针对高速度运行专用优化的直线位移台，具有高速度，超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力。 气浮导轨，无摩擦发热，高性能直线电机加速，特殊采料例用碳纤维减速质量，使运动速度达到12m/s的高速运动，适用于检测等一些要求高速度的应用场景。一些特殊应用的高速实验模拟使用。
参数 | 项目
S-HS-ABL172-X500
-1000
-1500
-2000
电机类型
有铁芯直线电机
光栅分辨率
默认模拟量1vpp~(光栅最大支持20m/s速度)
电机推力
持续198N/峰值348N
加速度（空载）
10g
行程 [mm]
500
1000
1500
2000
重复定位精度 [um]
≤±0.5um
定位精度 [um]
2um/100mm （校准后可小于0.5um/100mm）
平面度 [um]
≤±0.4
≤±0.8
≤±1.5
≤±2
直线度 [um]
最大速度 [m/s]
12m/s(取决于驱动器及行程)
移动部分负载
3kg
最大负载 [kg]
10kg