应用于光学及显微镜下的纳米位移台 行走式压电位移台可在纳米级精度范围内移动超过厘米的距离，最大可举起500克重量，并且在静止状态下处于自锁。 行走式压电位移台带有集成的位置传感器，旨在提供快速，易操作，高精度，负载能力大。 多轴模块化系统 5 N 推拉力 用于Z轴可以以> 5 mm / s的速度举升0.5 kg 2 nm最小增量运动 连续运动平滑 快速启动，快速响应 可自锁 可提供10-6 mbar高真空版本
技术指标
MODEL
GO STAGE LLS4545
GO STAGE LLS6545
GO STAGE LLS8545
GO STAGE LLS12595（图纸另发）
GO ELEVATION STAGE（图纸另发）
定位
行程(X)
20 mm
35 mm
50 mm
90 mm
行程(Z)+10 mm
传感器类型
Incremental Encoder
Absolute Encoder
增量式光栅
传感器分辨率
2 nm
4 nm
最小位移增量
双向重复定位精度
+- 100 nm (typ. @ full travel)
+- 200 nm (typ. @ +- 45 mm travel)
+- 100 nm (typ. @ +- 5mm travel)
线性定
+- 2 µm (typ.)
+- 4 µm (typ.)
PITCH
+- 150 µrad (typ.)
+- 300 µrad (typ.)
YAW
运动
运行时推拉力
5 N (min.)
保持 力(断电自锁)
6 N (min.)
最大速度 (空载)
8 mm/s
最大速度 (在最大输出力的情况下)
5 mm/s (min.)
驱动形式
电机驱动形式
LEGS行走式压电陶瓷驱动
Piezo Drive LEGS行走式压电陶瓷驱动
机械参数
最大负载能力
Z方向0,5 kg，XY方向2KG
0,5 kg
导轨
高精度交叉滚子导轨
尺寸
45x45x14 mm
65x45x14 mm
85x45x14 mm
125x95x20 mm
45x45x38 mm
重量 (W/O 线缆& 接头)
75 g (+-10%)
TBD
TBD g (+-10%)
其他
线缆工长度
2 m (+-5%)
2 m cable (+-5%) 包含接头
材料
铝