同一平面精确三轴运动 一个平面内的纳米分辨率运动 GO XYRStage 基于精确而强大的 GO 压电位移台，具有平滑的连续运动，并且在静止时具有自锁功能。 Go XYRStage 可通过 GO 控制器和 GO HexMotion Windows 应用程序轻松控制。 C++ DLL 可用于轻松的编程集成。
技术参数
型号
GO TIPTILTSTAGE
GO XYRSTAGE
POSITIONING
直线行程 (Z)
+10 mm
直线行程(X, Y)
+-10 mm
角度行程 Θ(X, Y)
+-3°
角度行程Θ(Z)
+-10°
直线最小位移量 (Z)
2 nm
直线最小位移量(X, Y)
角度最小位移量Θ(X, Y)
< 0,1 µrad
角度最小位移量Θ(Z)
直线重复定位精度(Z)
+- 200 nm
直线重复定位精度(X, Y)
角度重复定位精度Θ(X, Y)
+- 15 µrad
角度重复定位精度 Θ(Z)
MOTION
运行时推拉力
(Z) 15 N (MIN.)
(X) 10 N / (Y) 8 N (MIN.)
保持 力(断电自锁)
(Z) 18 N (MIN.)
(X) 12 N / (Y) 10 N (MIN.)
最大速度 (空载)
8 mm/s
最大速度（最大负载时） (X, Y)
最大速度（最大负载时）
>5 mm/s
DRIVE TYPE
HEXSTAGE 基础驱动模块
GO Stage LLS4545
XYR 基础驱动模块
MECHANICAL
最大负载（集中在顶板上）
1 kg
直径
150 mm
165 mm
高度
71 mm
68 mm
MISCELLANEOUS
3 个 GO 压电位移台的电缆
2 m cable (+-5%) 包含接头
2 m cable (+-5%) 包含ix Industrial™接头
材料
铝
订货信息
产品
描述
GO-XYR1
GO XYR调整台 带线和接头包括：
一个Go控制器和用于与电脑通信的USB线.