真空光学的纳米分辨率运动 GO 执行器 HV 专为低至 10-6 mbar 的高真空环境而设计。 每个执行器都配有真空侧电缆（编织金属套管中的 PTFE 涂层电线），末端带有 D9SUB 母接头。 每个执行器还附带一根空气侧母头 D9SUB 到 ix-Industrial 电缆。 将真空侧和空气侧电缆连接到 D9SUB 馈通，将空气侧 ix-connector连接到 GO 控制器，您就可以开始使用了。
技术参数
型号
GO ACTUATOR CL （HV）
POSITIONING
行程(X)
9 mm
传感器类型
增量式光栅
传感器分辨率
2 nm
最小位移增量
双向重复定位精度
+- 200 nm (typ.)
MOTION
10 N (min.)
运行时推拉力
保持 力(断电自锁)
最大速度 (空载)
8 mm/s
最大速度 (在最大输出力的情况下)
5 mm/s (min.)
DRIVE TYPE
Piezo Drive LEGS行走式压电陶瓷驱动
电机驱动形式
MECHANICAL
9.5 mm 夹紧柄或
最大负载能力
M10安装螺纹
尺寸
67x28x14 mm
MISCELLANEOUS
0,5 m 电缆 (+-5%) 包含 D9SUB 连接器
真空端线长度
大气端线长度
2 m cable (+-5%) 包含D9SUB 和ix-connector接头
材料
活塞：不锈钢 外壳：铝
订货信息
产品
描述
GO-ACT1HV
GO 执行器 HV真空版 带线和D9SUB接头包括：
大气端线缆 带 D9SUB 接头和 ix Industrial™ 连接器
GO-ACT1CLHV
GO 执行器 CL HV真空版 带线和D9SUB接头包括：