S-PHD气浮导轨圆气浮垫（微孔阵列）

S-PHD气浮导轨-圆气浮垫(微孔阵列)，
支持订制，微孔阵列结构喷气形成气浮层，用于气浮导轨。

技术参数

型号

尺寸

(mm)

理想承载(0.4MPa N)

刚度

(N/mm)

气隙高度

(um)

平面度

(um)

最大气压

(Mpa)

耗气量

(S/min)

球杆半径

(mm)

SPHD30R

30

150

25

6.5

0.5

0.9

0.5

13

SPHD45R

45

285

64

6

0.5

0.9

1

13

SPHD60R

60

500

110

6

0.5

0.9

1.1

13

SPHD80R

80

800

240

6

0.5

0.9

0.8

13

SPHD100R

100

1300

200

10

0.5

0.9

4

20

SPHD125R

125

2100

320

10

0.5

0.9

6

20

SPHD150R

150

3700

500

9

0.5

0.9

3.8

25

SPHD210R

210

6000

720

8

0.5

0.9

6

25


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