磁力预载型空气静压导轨 S-MCPA-XY系列直线电机平台采用了气浮导轨结合直线电机的方式，小尺寸，低矮外形，XY共面大理石，行程100*100或200*200mm,提供理想的精度和直线度指标，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的平面扫描应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。 ● 气浮导轨有非常好的平面度及直线度 ● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 项目
100x100
200x200
电机类型
三相有铁芯电机
光栅分辨率
1vpp 模拟量最高细分至1nm（可选绝对值）
X轴电机推力[N]
持续40N 峰值90N
Y轴电机推力[N]
持续40N*2 峰值90N*2
上轴空载加速度[g]
1.5G
下轴空载加速度[g]
最小步长[nm]
10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
行程 [mm]
重复定位精度 [um]
±0.1
定位精度 [um]
±0.2
平面度 [um]
1
1.5
直线度 [um]
0.5
俯仰pitch[urad]
10
20
偏摆yaw[urad]
最大速度 [mm/s]
500mm/s
最大负载 [kg]
12kg