真空预载型空气静压导轨
X轴横梁采用了氧化铝陶瓷件，相比大理石横梁，陶瓷横梁具有更好的精度、稳定性以及耐磨性
S-GPA-XY系列直线电机平台采用了气浮导轨结合直线电机的方式，小尺寸，低矮外形，XY共面大理石，行程300*300或400*400mm,提供理想的精度和直线度指标，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的平面扫描应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。
● 气浮导轨有非常好的平面度及直线度
● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能
● 使用中安静平稳、噪音极低
● 有非常高的精度表现水平