S-EC-ABL260-X一维气浮平台

S-E-ABL260-X系列直线电机平台采用了气浮导轨结合直线电机的方式,同时兼容高精度与经济性,拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀 的应用选择。
● 气浮直线导轨有非常好的平面度及直线度
● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能
● 使用中安静平稳、噪音极低
● 有非常高的精度表现水平

技术参数

参数 | 项目

-200

-300

-400

-500

-600

电机类型

无铁芯直线电机

光栅分辨率

默认50nm(可选模拟量,最高1nm)

电机推力

持续60N/峰值210N

加速度(空载)

5G

行程 [mm]

200

300

400

500

600

重复定位精度 [um]

≤±0.2um(如选配5nm光栅,最高可达±50nm)

定位精度 [um]

2um/100mm (校准后可小于0.5um/100mm)

平面度 [um]

≤±0.4

≤±0.5

≤±0.7

≤±0.8

≤±1

直线度 [um]

≤±0.5

最大速度 [mm/s]

1000(取决于驱动器及行程)

最大负载 [kg]

25kg


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