S-E-ABL140-X系列直线电机平台采用了气浮导轨结合直线电机的方式，拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀 的应用选择。 ● 气浮直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 项目
S-EC-ABL140-X100
-200
-300
-400
电机类型
有铁芯直线电机
光栅分辨率
默认50nm绝对值（可选模拟量，最高1nm）
电机推力
持续23N/峰值92N
加速度（空载）
3G
行程 [mm]
100
200
300
400
重复定位精度 [um]
≤±0.2um（如选配5nm光栅，最高可达±50nm）
定位精度 [um]
2um/100mm （校准后可小于0.5um/100mm）
平面度 [um]
≤±0.4
≤±0.5
≤±0.7
≤±0.8
直线度 [um]
最大速度 [mm/s]
1000(取决于驱动器及行程)
最大负载 [kg]
10kg