S-ABVT系列直线电机平台采用了气浮导轨结合音圈直线电机的方式，形成一个Z方向的运动，拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。 ● 气浮直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 项目
S-ABVT-Z20
-Z38
电机类型
音圈电机
光栅分辨率
sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）
电机推力
持续27N/峰值119N
持续45N/峰值192N
最小步长[nm]
10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)
行程 [mm]
20
38
重复定位精度 [um]
±50nm
定位精度 [um]
±150nm
平面度 [um]
1um
1.5um
直线度 [um]
0.5um
0.7um
最大速度 [mm/s]
50mm/s
最大负载 [kg]
6kg(采用气动恒力弹簧平衡)