S-ABT-XY-360360 XY气浮直线电机平台

S-ABT-XY-360*360系列直线电机平台采用了大理石结构结合直线电机和气浮导轨的方式,同时拥有高精度,拥有非常好的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。半导体检测,在显微镜场景下有非常好的运动性能。
除了大理石版本外,还有更高精度的陶瓷版本,陶瓷版本采用了高纯度的氧化铝作为气浮结构件及导向原件,相对于花岗岩和金属而言,氧化铝陶瓷具有膨胀系数更小,且直线度、硬度、耐磨性更加的优点。
● 大理石及气浮导轨有非常好的平面度及直线度
● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能
● 使用中安静平稳、噪音极低
● 有非常高的精度表现水平

技术参数

参数 | 项目

普通版本

陶瓷版本

电机类型

三相无铁芯电机

光栅分辨率

sin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率)

上轴电机推力[N]

持续90N 峰值315N

下轴电机推力[N]

持续219N*2 峰值750N*2

上轴空载加速度[g]

4.5G

上轴空载加速度[g]

3G

最小步长[nm]

10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)

行程 [mm]

360x360

重复定位精度 [um]

±0.15

±0.1

定位精度 [um]

±0.5

±0.3

平面度 [um]

±1

±0.5

直线度 [um]

1.5

1

最大速度 [mm/s]

500mm/s

最大负载 [kg]

50kg


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