S-ABRX-M150 系列是使用直驱旋转电机和空气轴承，无摩擦，使用圆光栅做为检测反馈，达到优异转台台面跳动及旋转精度。 适用于微小步距或者需要超精确旋转定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。应用领域：断层扫描、束线系统、晶圆计量、晶圆检验、测量技术、检验系统、校准、扫描。 ● 气浮轴承100nm轴跳，端跳，直驱电机高精度转角运动 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
规格
参数
电机扭矩
0.32Nm额定 1.2Nm峰值
最大转速
1000rpm
编码器线数
7200line
编码器分辨率
0.45sec（数字量对应0.1um，可选1Vpp更高分辨率）
重复定位精度
≤±1sec
轴向最大负载（5bar）
800N
径向最大负载（5bar）
200N
轴向最大刚性（5bar）
320N/um
径向最大刚性（5bar）
85N/um
轴向最大跳动*
<100nm
径向最大跳动*
综合耗气量
18NL/min