S-ABL250-X系列直线电机平台采用了气浮导轨结合直线电机的方式，拥有非常好的直线度及平面度，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀 的应用选择。 ● 气浮直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 参数
S-ABL250-100
-200
-300
-400
-500
-600
有效行程 [mm]
100
200
300
400
500
600
光栅分辨率 [nm]
5nm（模拟量）可选配其他型号光栅分辨率
重复定位精度 [nm]
±50
±100
±150
±200
±250
定位精度
2um/100mm （校准后可小于0.3um/100mm）
直线度 [um]
±0.4
±0.5
±0.6
±0.75
±1
±1.5
平面度 [um]
最大速度
2m /s
最大加速度(空载)
2G
水平负载 [kg]
35kg
侧面负载 [kg]
20kg