TRI-VM-R5 可在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的运动精度,可实现Z轴位移和两轴角度的调整，调平具有超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力 成为在可用空间有限时需要复杂多自由度运动的应用的理想选择。
规格
参数
Z轴最大行程
±5mm
Z轴分辨率
4.88nm
Z轴重复定位精度
±0.2um
位置稳定性
±20nm
最大速度
5mm/s
最大加速度
2m/s
θX/θY 最大行程
±2.5°
θ轴分辨率
0.15sec
θ轴重复定位精度
±1sec
1°/s
20°/s^2
配重平衡方式
气动衡力平衡（最小气压0.1MPa 最大气压0.6MPa）
最大负载
20kg