S-TRI-VM-R1三轴并联调平平台

S-TRI-VM-R5
可在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的运动精度，实现Z轴及两个角度的调节调平。
具有超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力
成为在可用空间有限时需要复杂多自由度运动的应用的理想选择。适用于半导体检测圆晶的调平。