S-Quodropod四点支撑角度调整升降台(大负载) 可定制,有真空及超高真空版本 通过四个升降轴驱动可调节θX/θY角度调节及Z轴降运动,光栅反馈,可带载60KG负载,用于静态的调平调节。可定制真空兼容版本。 应用于光学对准,同步辐射领域,精密自动化领域。
规格
参数
Z轴最大行程
±5mm
Z轴光栅分辨率
5nm
Z轴重复定位精度
±0.1um
位置稳定性
±20nm
最大速度
10mm/s
最大加速度
2m/s
θX/θY 最大行程
±1°
θ轴分辨率
0.1sec
θ轴重复定位精度
±1sec
25°/s
100°/s^2
最大负载
60kg