MiniSCAN系列是我司最近推出的一款高精度桌面型的扫描系统，整机采用了稳定性极佳的大理石底座，搭配高精度的XY和Z轴运动平台，加上预留了光路安装和照明机构，可以非常快速的组合成各种满足客户要求的应用，目前已经在：半导体晶圆扫描、生物检测、干涉仪测量等高精度应用上有非常成功的应用案例。
S-MiniSCAN系列主要特征
•标配桌面级隔振系统
•三轴可选高精度直线电机或高稳定性步进电机运动平台
•驱动控制系统已嵌入整机架构中，无额外的控制箱
•可根据客户要求选配定制照明及成像机构
•可选配高精度测距模块，实现0.2um级别的自动对焦
可选标准控制软件，也有完整丰富快捷的二次开发包
适用于半导体检测圆晶的调整，光学检测，调节光路的应用场景。