S-LMT-XY-200*200+NFZ10系列直线电机平台采用了交叉滚子导轨结合直线电机的方式，设计高度非常低矮，拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀 的应用选择。 ● 直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 项目
S-LMT-XY-200X200
NFZ10
电机类型
三相无铁芯电机
音圈电机
光栅分辨率
默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率）
电机推力
持续60N/峰值210N
持续30N/峰值90N
最小步长[nm]
200nm
行程 [mm]
200x200
10
重复定位精度 [um]
±0.3
定位精度 [um]
±1
±0.5
平面度 [um]
10um
8um
直线度 [um]
1um
1.5um
最大速度 [mm/s]
500mm/s
50mm/s
最大负载 [kg]
5kg（Z轴带气动恒力平衡配重）