S-LMTE390-XY-330X330大中空直线电机位移台

S-LMTE390-XY-330*330系列直线电机平台采用了交叉滚子导轨结合直线电机的方式,同时拥有大中空结构,拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。在显微镜场景下有非常好的运动性能。
● 直线导轨有非常好的平面度及直线度,大中空结构
● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能
● 使用中安静平稳、噪音极低
● 有非常高的精度表现水平

技术参数

参数 | 项目

X轴(上轴)

Y轴(下轴)

电机类型

双直线电机驱动

光栅分辨率

sin\cos 4.88nm(可选绝对值或更高分辨率)

电机推力

持续60N/峰值210N

持续120N/峰值420N

最小步长[nm]

50nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)

行程 [mm]

330

330

重复定位精度 [um]

±0.25

定位精度 [um]

±1(干涉仪校准)

平面度 [um]

≤±2.5um

直线度 [um]

≤±1.5um

≤±2um

最大速度 [mm/s]

1000

最大加速度[g]空载

1.5g(上轴)1g(下轴)

最大负载 [kg]

30


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