串并联混合的TRIPOD结构，直线步进电机+丝杠+光栅反馈，可实现三个直线和三个旋转方向的六轴位移运动，带动光学负载实现六轴方向上的高精度的位移调节，本设计为大型中空光学检测使用
规格
XY轴
θXθY轴
Z轴
θZ轴
有效行程
±100mm
±3deg
±25mm
360deg
电机类型
步进电机
直驱电机
光栅分辨率
4.88nm（1vpp）
0.04sec
最小步长
50nm
0.01ec
0.001sec
重复定位精度
±0.5um
±0.5sec
±0.3um
±0.1sec
定位精度
±1um
±2sec
±3sec
最大速度
100mm/s
30deg/sec
15mm/s
4rps
最大负载
水平负载300kg，垂直使用负载请联系厂家沟通
最大质量
整机重量750kg