整体结构XY采用直接电机驱动，三轴调节使用步进电机驱动，旋转轴使用力矩电机驱动，配合高精度光栅反馈使用TRIPOD结构。 可在紧凑而坚固的平台中提供一致且可靠的运动精度 具有超精细的定位分辨率、充足的有效载荷能力 成为在可用空间有限时需要复杂多自由度运动的应用的理想选择。适用于半导体检测圆晶的调平。
规格
XY轴
θXθY轴
Z轴
θZ轴
有效行程
±30mm
±2.5deg
±5mm
360deg
电机类型
直线电机
步进电机
直驱电机
光栅分辨率
4.88nm（1vpp）
0.04sec
最小步长
100nm
0.3sec
0.1sec
重复定位精度
±0.2um
±1sec
±0.3um
定位精度
±1um
±5sec
最大速度
100mm/s
30deg/sec
15mm/s
4rps
最大负载
水平负载10kg，垂直使用负载请联系厂家沟通
最大质量
整机重量12kg