串并联混合的TRIPOD结构，直线电机+光栅反馈，可实现三个直线和三个旋转方向的六轴位移运动，带动光学负载实现六轴方向上的高精度的位移调节，应用于光学检测，同步辐射，高精度自动化领域。
规格
XY轴
θXθY轴
Z轴
θZ轴
有效行程
±50mm
±3deg
±5deg
电机类型
直线电机
直驱电机
光栅分辨率
4.88nm（1vpp）
0.04sec
最小步长
100nm
0.3sec
0.1sec
重复定位精度
±0.2um
±1sec
±0.3um
定位精度
±1um
-
±5sec
最大速度
100mm/s
30deg/sec
15mm/s
4rps
最大负载
水平负载10kg，垂直使用负载请联系厂家沟通
最大质量
整机重量20kg