S-GLMT-XY高精度直线电机平台

S-GLMT-XY系列直线电机平台采用了大理石结构结合直线电机的方式,同时拥有高精度,拥有非常好的直线度及平面度,特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。半导体检测,在显微镜场景下有非常好的运动性能。
● 大理石及直线导轨有非常好的平面度及直线度
● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能
● 使用中安静平稳、噪音极低
● 有非常高的精度表现水平

技术参数

参数 | 项目

250x250

360x360

电机类型

三相有铁芯电机

光栅分辨率

sin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率)

上轴电机推力[N]

持续220N 峰值440N

下轴电机推力[N]

持续330N*2 峰值660N*2

上轴空载加速度[g]

4.5G

上轴空载加速度[g]

3G

最小步长[nm]

10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器)

行程 [mm]

250x250

360x360

重复定位精度 [um]

±0.5

±0.5

定位精度 [um]

±1

±1.5

平面度 [um]

±2

±3

直线度 [um]

1.5

1.5

最大速度 [mm/s]

500mm/s

最大负载 [kg]

50kg


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