S-ELMT-XY系列直线电机平台采用了交叉滚子导轨结合直线电机的方式，同时拥有大中空结构，拥有传统机械导轨无法比拟的直线度及平面度，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。在显微镜场景下有非常好的运动性能。 ● 直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 有铁芯直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 项目
S-ELMT-XY-100X100
-200X200
-300X300
电机类型
三相无铁芯电机
光栅分辨率
50nm绝对值 或sin\cos 4.88nm（可选其它更高分辨率）
电机推力
持续11.5N/峰值46N
持续23N/峰值92N
持续60N峰值210N
最小步长[nm]
10nm(增量5nm分辨率光栅以下，搭配nanopwm或者线性驱动器)
行程 [mm]
100x100
200x200
300x300
中空尺寸[mm]
105x105
205x205
305x305
重复定位精度 [um]
±0.3
定位精度 [um]
±1
平面度 [um]
6um
8um
10um
直线度 [um]
1um
1.5um
2.5um
最大速度 [mm/s]
500mm/s
最大负载 [kg]
8kg
15kg
30kg