S-UMS130-X是一款非常成功能的高精度位移台使用高精度的交叉滚子导轨，实现高重复定位精度，结构紧凑，高稳定性。可适用于原子力显微镜AFM的超稳台使用。 也可组装XY或XYZ三轴使用。 对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀的应用选择。完美替代进口产品。 ● 直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数\型号
S-UMS130-60X
-110X
-160X
电机类型
三相无铁芯电机
光栅类型
增量式光栅0.1um（可选最高1nm光栅，绝对式选配）
电机推力
额定40N 峰值90N
加速度（空载）
3G
2.5G
2G
限位类型
机械、光电、软件（三重限位保护）
材质
铝合金6061-T6（可选不锈钢）
行程 mm
60
110
160
定位精度 um
±3um（校准±0.5um）
重复定位精度 um
±0.1um（±50nm 对应5nm以上光栅）
最大速度 mm/s
300mm/s
最大负载 kg
6
8
12