U1LM系列直线电机平台采用了机械导轨结合直线电机的方式，直线光栅尺闭环，特别适用在对于微小步距或者需要超精确定位的应用场景。是精密光学调试、安装、加工非常优秀 的应用选择。完美替代进口产品。 ● 直线导轨有非常好的平面度及直线度 ● 直线电机保证了足够的系统刚性及动态性能 ● 使用中安静平稳、噪音极低 ● 有非常高的精度表现水平
参数 | 参数
S-U1LM200-100
-200
-300
-400
-500
-600
-800
有效行程 [mm]
100
200
300
400
500
600
800
光栅分辨率 [nm]
100nm（数字量标配）可选配其他型号光栅分辨率或1vpp模拟量
重复定位精度 [nm]
≤±0.5um
定位精度
未校准±4um/100mm （校准后可小于±1.5um）
直线度 [um]
±1.5
±2.5
±3.5
±4
±5
±6.5
±8
平面度 [um]
电机推力
持续132N/峰值232N
最大速度
2m /s
最大加速度(空载)
3G
移动部分负载
6.5kg
水平负载 [kg]
40kg
侧面负载 [kg]
20kg