S-SVMMS60-X25微型线性平台

(可支持真空兼容10-5Pa)
S-SVMMS60-X25是一款超小体积25mm直线位移台,伺服电机+丝杠+光栅的直线传动结构,集成度非常高的一款线性位移台,可实现50nm最小位移量,有一定自锁力可应用于Z轴。可装组成XYZ位移台。
应用于光纤和光子元件的3D对准,精密自动化领域。

技术参数

项目|参数

参数

电机类型推力

直流电机

分辨率

0.003um(控制分辨率)可选内置直线光栅版本1vpp分辨率

行程

25mm

丝杆导程

1mm@滚珠丝杆 0.25mm@滑动丝杆

单向重复定位精度

≤0.15um

空回

≤0.3um

最小步长

50nm

平面度

≤±2um

直线度

≤±2um

最大速度

≥20mm/s

最大负载

≥3kg

结构件材质及表面处理

铝合金硬质阳极氧化


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