(可支持真空兼容10-5Pa) S-SVMMS60-X25是一款超小体积25mm直线位移台,伺服电机+丝杠+光栅的直线传动结构,集成度非常高的一款线性位移台,可实现50nm最小位移量,有一定自锁力可应用于Z轴。可装组成XYZ位移台。 应用于光纤和光子元件的3D对准,精密自动化领域。
项目|参数
参数
电机类型推力
直流电机
分辨率
0.003um(控制分辨率)可选内置直线光栅版本1vpp分辨率
行程
25mm
丝杆导程
1mm@滚珠丝杆 0.25mm@滑动丝杆
单向重复定位精度
≤0.15um
空回
≤0.3um
最小步长
50nm
平面度
≤±2um
直线度
最大速度
≥20mm/s
最大负载
≥3kg
结构件材质及表面处理
铝合金硬质阳极氧化